微觀特征輪廓尺寸測量:光學3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺階儀的應用
2024-06-05 隨著科技進步,顯微測量儀器以滿足日益增長的微觀尺寸測量需求而不斷發展進步。多種高精度測量儀器被用于微觀尺寸的測量,其中包括光學3D表面輪廓儀(白光干涉儀)、共聚焦顯微鏡和臺階儀。有效評估材料表面的微觀結構和形貌,從而指導生產過程、優化產品性能。光學3D表面輪廓儀(白光干涉儀)光學3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進行非接觸式測量的高精度儀器。它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。非接觸無損測量,超高縱向分辨率,測量從光滑到粗糙等各種精細器件表面。測量分析樣品表面形...